洁净室中的完整过滤系统，通常由预过滤器和HEPA或ULPA过滤器段组成。预过滤器的效率较低，无法去除空气中来自外部环境的相对较大的颗粒。向清洁区域供应空气的空气系统应配备HEPA或ULPA过滤器，以防止细小污染物，以达到一定的空气质量水平。在这种应用中，过滤材料的低压和高容尘能力对预过滤器很重要，而高效率一致性对HEPA或ULPA过滤器更为重要。